FM系列 手动贴膜机

CEPHEUS手动晶圆贴片机具人性化设计，容易操作且稳定地完成晶圆及胶膜的贴合工作。FM系列贴片机具有坚实的结构，灵活的设计，拥有多用途的贴合平台，标准配备或选用配件，可处理各种标准规格之晶圆晶片，或特殊规格之光学玻璃、胶膜框架等，以达成切割作业中，必须谨慎控制的胶膜张力与无气泡贴片。

用于6吋、8吋、12吋之晶圆贴膜用.(6,8吋共用,12吋单独使用，或客制化盘面)

A. 本机为手动方式把晶圆置于工作盘上面，借真空吸盘吸住晶圆。

B. 后方胶膜卷以手拉出并固定于台板前缘，离型膜则固定于胶膜卷下方的离型膜回收杆上。

C. 利用手动推动滚轮架，返回时利用气压压力使滚轮把胶膜与晶圆紧密贴合，并利用盖板上之切刀沿晶圆外周把多余胶膜切除。

D. 滚轮移动利用线性滑轨，不会产生粉屑。

E. 滚轮下压压力以气压控制，可调节滚轮贴合压力。

D. 上盖转盘采多点接触，不易磨耗且操作容易。