半自动LED-UV解胶机(落地式)

UVD-612为为LED半自动晶圆UV解胶机，可应用于12吋以下晶圆之脱胶制程。

此UV解胶设备装置为PLC/人机控制，具解胶总照度设定、氮气、温度保护等功能。

光源由729颗LED灯组成，寿命高，照度均匀，不产生臭氧，待机灯源不需开启，耗电量少。

- 主波长: 365nm

- 光源强度:約60~120mW/cm2

- 适用晶圆尺寸: 6/8/12”共用

- 电源: 单相220V, 25A

LED UV光源优点:

1. 体积小
2. 随点随亮，无需预热时间
3. 无需待机消耗功率，立即省电
4. 照度可达90/200mw/cm2以上
5. 照度平均，照度误差<10%
6. 照物表面温度低
7. 灯源寿命可达15000小时以上 (汞灯约1000小时)
8. 省电,安全性高
9. 不产生臭氧
10. 与传统汞灯耗材比较可巨幅节省灯管耗材成本
11. 脱胶晶片跨距最佳化设计，节省能源提高产能。
12. 双风扇冷却加独立高效率排气风扇强制散热，能有效维持温度稳定，并达到节能效果。
13. 触控式人机面板操作容易，制程资料显示一目了然。