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半自动LED-UV解胶机(落地式)






机种: 半自动LED-UV解胶机(落地式)
描述:

UVD-612为为LED半自动晶圆UV解胶机,可应用于12吋以下晶圆之脱胶制程。

此UV解胶设备装置为PLC/人机控制,具解胶总照度设定、氮气、温度保护等功能。

光源由729颗LED灯组成,寿命高,照度均匀,不产生臭氧,待机灯源不需开启,耗电量少。

特點:

- 主波长: 365nm

- 光源强度:約60~120mW/cm2

- 适用晶圆尺寸: 6/8/12”共用

- 电源: 单相220V, 25A

 

LED UV光源优点:

  1. 体积小
  2. 随点随亮,无需预热时间
  3. 无需待机消耗功率,立即省电
  4. 照度可达90/200mw/cm2以上
  5. 照度平均,照度误差<10%
  6. 照物表面温度低
  7. 灯源寿命可达15000小时以上 (汞灯约1000小时)
  8. 省电,安全性高
  9. 不产生臭氧
  10. 与传统汞灯耗材比较可巨幅节省灯管耗材成本
  11. 脱胶晶片跨距最佳化设计,节省能源提高产能。
  12. 双风扇冷却加独立高效率排气风扇强制散热,能有效维持温度稳定,并达到节能效果。
  13. 触控式人机面板操作容易,制程资料显示一目了然。

 

氮气压力 MAX. 0.3~0.5 Mpa (3~5㎏/cm2)
氮气消耗量 MAX. 20NL/MIN.
电力供应 1ψ220 VAC 60 HZ
消耗电力 1.8 KVA
瞬间消耗电力 約4KVA
规格(W ×D ×H) W730 ×D680 ×H1000 ㎜
重量 約150㎏

 

◎由于设备不断改进,本公司对于外型更改,恕不另行通知。


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半自动LED-UV解胶机(落地式)