桌上型UV解胶机
| 机种： | 桌上型UV解胶机 |
|---|---|
| 描述： |
本机为低压手动晶圆UV解胶机，可应用于12吋以下晶圆之脱胶制程。 |
| 特点： |
- UV解胶设备装置为PLC/人机控制，具备解胶总照度设定、氮气purge、温度保护等功能。 - 机台内有光源照度感测器，即时侦测照度。 - 解胶设定的总照度，以感测器即时侦测照度加总。 - 操作方式：抽屉式手动放置料件，按下START键后自动执行解胶作业。 |
- 晶圆尺寸：6、8、12吋共用
- 适用材质：晶圆/玻璃/PC板
- 灯管寿命：约1000HR
- 灯管功率：36W
- 光源照度：15~18mw/cm2
- 照射距离：约20mm
- 照射波长：365nm
- 照射时间设定：1-120Sec(可由照度补偿)
