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桌上型UV解胶机






机种: 桌上型UV解胶机
描述:

本机为低压手动晶圆UV解胶机,可应用于12吋以下晶圆之脱胶制程。

特点:

- UV解胶设备装置为PLC/人机控制,具备解胶总照度设定、氮气purge、温度保护等功能。

- 机台内有光源照度感测器,即时侦测照度。

- 解胶设定的总照度,以感测器即时侦测照度加总。

- 操作方式:抽屉式手动放置料件,按下START键后自动执行解胶作业。

  • 晶圆尺寸:6、8、12吋共用
  • 适用材质:晶圆/玻璃/PC板
  • 灯管寿命:约1000HR
  • 灯管功率:36W
  • 光源照度:15~18mw/cm2
  • 照射距离:约20mm
  • 照射波长:365nm
  • 照射时间设定:1-120Sec(可由照度补偿)

商品己加入詢價車

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桌上型UV解胶机