晶圆清洗机

CL-512自动清洗系统

- 本机适用于8”或12”附铁框的晶圆切割后的清洗吹干装置，亦可应用于玻璃及电子基板的清洗。

- CL-512是一以高效率和多功能设计的清洗机，可以很容易地清除被洗物表面及切割沟槽内的残留颗粒。

先进的清洗方法

- CL-512提供了高效率的多循环清洗的过程中，由空气辅助雾化器设计与气体的水微滴混合的高压，它可以轻易的洗去在非常薄的切割沟内残余的碎屑颗粒，它提供最佳的清洗，干燥效果，实现高效率的清洗程序。

PLC程序控制

- CL-512清洗机是经由逻辑微处理器+人机介面来做控制，所有的配方参数可以经由触控式人机介面输入到系统或从记忆体叫出已经编辑好的配方参数输入到系统来执行，这些参数包括：工作盘旋转速度，清洗范围，清洗/干燥时间，动作元件等等。

本机具有以下特点：

(a)转速设定：200-2800rpm。

(b)清洗剂及洗净时间设定：0-999sec。

(c)吹干时间设定：0-999sec。

(d)可设定加压或不加压喷洗。

(e)水壓、氣壓、氮氣壓設定。

(f)可调整喷洗压力。

(g)可设定10组配方，每组配方皆可独立设定摆臂清洗范围。

(h)每组配方有8段清洗行程，每段清洗行程可单独设定动作元件。

(i)可选配毛刷及清洁剂供应系统。

(j)功能强大的大型全彩人机介面，一目了然，操作容易，立即上手。