手动扩张式贴膜机

适用于贵公司的6"/8”/12”晶圆及固定框与胶膜贴合之装置。

Ⅰ、本机为手动方式把固定框及晶圆或待贴合工件置于工作盘上面，借真空吸盘吸住，以定位销固定FRAME。

Ⅱ、后方胶膜卷以手拉出，固定于前方横杆上，注意勿让胶膜垂下。

Ⅲ、拉下上盖扣紧并利用气缸上推，使胶膜与FRAME及晶圆紧密贴合，手持滚轮压合胶膜并利用盖板上之切刀把多余胶膜切除。

IV、打开上盖，取出贴合完成的晶圆及多余胶膜，即完成循环准备下次贴胶动作。