| 特点： |
- 适用晶圆：6吋/8寸有铁框或无铁框晶圆
- 适用涂布液：光阻剂/去光阻剂/导电/不导电胶/各式溶剂。
- 主马达：
- -功率：2000W伺服马达
- -最大转速：3000 rpm
- -最大加速度：1000 rpm/sec
- 工作台：透气陶瓷chuck table或pig钻孔真空工作台
- 注胶摇臂控制：可升降式步进马达位置控制
- 涂布腔：
- -升降式coating bowl(with Teflon coating)
- -飞溅防护对策：防飞溅cover
- -气味防止对策：底部抽排气管*3
- -废液排放：20mmψ排放管
- -涂布腔外部防护：使用防静电透明压克力
- 静电去除：离子枪
- 供料系統：
- -SUS压力桶+内桶
- -供料方式：N2加压+时间控制(最小单位 0.1 秒)
- -喷嘴：具回吸功能
- -注胶方式：定点或随机位置注胶
- -光阻剂硬化防止：喷嘴定时purge(时间可设定)
- 废液储存方式：5L SUS废液桶附高液位侦测
- 配方组数及step：可设定30 组配方，每组配方40steps
- 人机介面：10吋彩色人机
- 安全装置：
- -紧急停止开关
- -涂布腔室门连锁
- -漏液侦测
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