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旋转涂布机






机种: 旋转涂布机
描述:
  1. 半自动旋转涂布设备,除手动放入/取出晶片外,其他动作皆为自动完成,可做为光阻剂/去光阻剂或导电/不导电胶及其他涂料及溶剂的旋转涂布用,内建30组配方及高达40个步序,可处理大部分的复杂涂布程序。
  2. 具有非常方便操作的人机介面,设定方式及制程监控简单明了,使用者无需花费太多时间即可轻易上手,各种涂布方式应用弹性多功能强大。
  3. 使用PLC配合人机界面控制。举凡:执行步序、工作盘的转速&加速度、点胶臂位置&速度、制程时间或是溶剂清洗位置等各种不同的操作参数,都很容易输入系统并记忆,以及从配方记忆组内选定执行。

 

特点:
  1. 适用晶圆:6吋/8寸有铁框或无铁框晶圆
  2. 适用涂布液:光阻剂/去光阻剂/导电/不导电胶/各式溶剂。
  3. 主马达:
    1. -功率:2000W伺服马达
    2. -最大转速:3000 rpm
    3. -最大加速度:1000 rpm/sec
  4. 工作台:透气陶瓷chuck table或pig钻孔真空工作台
  5. 注胶摇臂控制:可升降式步进马达位置控制
  6. 涂布腔:
    1. -升降式coating bowl(with Teflon coating)
    2. -飞溅防护对策:防飞溅cover
    3. -气味防止对策:底部抽排气管*3
    4. -废液排放:20mmψ排放管
    5. -涂布腔外部防护:使用防静电透明压克力
  7. 静电去除:离子枪
  8. 供料系統:
    1. -SUS压力桶+内桶
    2. -供料方式:N2加压+时间控制(最小单位 0.1 秒)
    3. -喷嘴:具回吸功能
    4. -注胶方式:定点或随机位置注胶
    5. -光阻剂硬化防止:喷嘴定时purge(时间可设定)
  9. 废液储存方式:5L SUS废液桶附高液位侦测
  10. 配方组数及step:可设定30 组配方,每组配方40steps
  11. 人机介面:10吋彩色人机
  12. 安全装置:
    1. -紧急停止开关
    2. -涂布腔室门连锁
    3. -漏液侦测

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