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全自動LED-UV解膠機






機種: 全自動LED-UV解膠機
描述:

-UVD-212為全自動LED晶圓UV脫膠機,本機是適用於6吋,8吋12吋鐵框晶圓(三種尺寸皆可使用)或其他料件UV tape貼膠後的UV光解膠裝置。

-Cassette IN/OUT全自動功能。

-此UV解膠設備裝置為PLC/人機控制,具解膠總照度設定、氮氣、溫度保護等功能。

-機台內有光源照度感測器,即時偵測照度。解膠設定的總照度,以感測器即時偵測照度加總。

-光源由729顆LED燈組成,壽命高,照度均勻,不產生臭氧,待機燈源不需開啟,耗電量少。

特點:

- 主波長: 365nm

- 光源強度:約60~120mW/cm2

- 適用晶圓尺寸: 6/8/12”共用

- 電源: 單相220V, 25A

 

LED UV光源優點:

  1. 體積小
  2. 隨點隨亮,無需預熱時間
  3. 無需待機消耗功率,立即省電
  4. 照度可達90/200mw/cm2以上
  5. 照度平均,照度誤差<10%
  6. 照物表面溫度低
  7. 燈源壽命可達15000小時以上 (汞燈約1000小時)
  8. 省電,安全性高
  9. 不產生臭氧
  10. 與傳統汞燈耗材比較可巨幅節省燈管耗材成本
  11. 脫膠晶片跨距最佳化設計,節省能源提高產能。
  12. 雙風扇冷卻加獨立高效率排氣風扇強制散熱,能有效維持溫度穩定,並達到節能效果。
  13. 觸控式人機面板操作容易,製程資料顯示一目了然。

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