全自動LED-UV解膠機

機種：	全自動LED-UV解膠機
描述：	-UVD-212為全自動LED晶圓UV脫膠機，本機是適用於6吋,8吋12吋鐵框晶圓(三種尺寸皆可使用)或其他料件UV tape貼膠後的UV光解膠裝置。 -Cassette IN/OUT全自動功能。 -此UV解膠設備裝置為PLC/人機控制，具解膠總照度設定、氮氣、溫度保護等功能。 -機台內有光源照度感測器，即時偵測照度。解膠設定的總照度，以感測器即時偵測照度加總。 -光源由729顆LED燈組成，壽命高，照度均勻，不產生臭氧，待機燈源不需開啟，耗電量少。
特點：	- 主波長: 365nm - 光源強度:約60~120mW/cm2 - 適用晶圓尺寸: 6/8/12”共用 - 電源: 單相220V, 25A LED UV光源優點: 體積小隨點隨亮,無需預熱時間無需待機消耗功率,立即省電照度可達90/200mw/cm2以上照度平均,照度誤差<10% 照物表面溫度低燈源壽命可達15000小時以上 (汞燈約1000小時) 省電,安全性高不產生臭氧與傳統汞燈耗材比較可巨幅節省燈管耗材成本脫膠晶片跨距最佳化設計，節省能源提高產能。雙風扇冷卻加獨立高效率排氣風扇強制散熱,能有效維持溫度穩定，並達到節能效果。觸控式人機面板操作容易,製程資料顯示一目了然。

機種：

全自動LED-UV解膠機

描述：

-UVD-212為全自動LED晶圓UV脫膠機，本機是適用於6吋,8吋12吋鐵框晶圓(三種尺寸皆可使用)或其他料件UV tape貼膠後的UV光解膠裝置。

-Cassette IN/OUT全自動功能。

-此UV解膠設備裝置為PLC/人機控制，具解膠總照度設定、氮氣、溫度保護等功能。

-機台內有光源照度感測器，即時偵測照度。解膠設定的總照度，以感測器即時偵測照度加總。

-光源由729顆LED燈組成，壽命高，照度均勻，不產生臭氧，待機燈源不需開啟，耗電量少。

特點：

- 主波長: 365nm

- 光源強度:約60~120mW/cm2

- 適用晶圓尺寸: 6/8/12”共用

- 電源: 單相220V, 25A

LED UV光源優點: