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半自動LED-UV解膠機(落地式)






機種: 半自動LED-UV解膠機(落地式)
描述:

UVD-612為為LED半自動晶圓UV解膠機,可應用於12吋以下晶圓之脫膠製程。

此UV解膠設備裝置為PLC/人機控制,具解膠總照度設定、氮氣、溫度保護等功能。

光源由729顆LED燈組成,壽命高,照度均勻,不產生臭氧,待機燈源不需開啟,耗電量少。

特點:

- 主波長: 365nm

- 光源強度:約60~120mW/cm2

- 適用晶圓尺寸: 6/8/12”共用

- 電源: 單相220V, 25A

 

LED UV光源優點:

  1. 體積小
  2. 隨點隨亮,無需預熱時間
  3. 無需待機消耗功率,立即省電
  4. 照度可達90/200mw/cm2以上
  5. 照度平均,照度誤差<10%
  6. 照物表面溫度低
  7. 燈源壽命可達15000小時以上 (汞燈約1000小時)
  8. 省電,安全性高
  9. 不產生臭氧
  10. 與傳統汞燈耗材比較可巨幅節省燈管耗材成本
  11. 脫膠晶片跨距最佳化設計,節省能源提高產能。
  12. 雙風扇冷卻加獨立高效率排氣風扇強制散熱,能有效維持溫度穩定,並達到節能效果。
  13. 觸控式人機面板操作容易,製程資料顯示一目了然。

 

氮氣壓力 MAX. 0.3~0.5 Mpa (3~5㎏/cm2)
氮氣消耗量 MAX. 20NL/MIN.
電力供應 1ψ220 VAC 60 HZ
消耗電力 1.8 KVA
瞬間消耗電力 約4KVA
規格(W ×D ×H) W730 ×D680 ×H1000 ㎜
重量 約150㎏

 

◎由於設備不斷改進,本公司對於外型更改,恕不另行通知。


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半自動LED-UV解膠機(落地式)