機種: | 半自動LED-UV解膠機(落地式) |
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描述: |
UVD-612為為LED半自動晶圓UV解膠機,可應用於12吋以下晶圓之脫膠製程。 此UV解膠設備裝置為PLC/人機控制,具解膠總照度設定、氮氣、溫度保護等功能。 光源由729顆LED燈組成,壽命高,照度均勻,不產生臭氧,待機燈源不需開啟,耗電量少。 |
特點: |
- 主波長: 365nm - 光源強度:約60~120mW/cm2 - 適用晶圓尺寸: 6/8/12”共用 - 電源: 單相220V, 25A
LED UV光源優點:
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氮氣壓力 | MAX. 0.3~0.5 Mpa (3~5㎏/cm2) |
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氮氣消耗量 | MAX. 20NL/MIN. |
電力供應 | 1ψ220 VAC 60 HZ |
消耗電力 | 1.8 KVA |
瞬間消耗電力 | 約4KVA |
規格(W ×D ×H) | W730 ×D680 ×H1000 ㎜ |
重量 | 約150㎏ |
◎由於設備不斷改進,本公司對於外型更改,恕不另行通知。