桌上型UV解膠機
| 機種： | 桌上型UV解膠機 |
|---|---|
| 描述： |
本機為低壓手動晶圓UV解膠機，可應用於12吋以下晶圓之脫膠製程。 |
| 特點： |
- UV解膠設備裝置為PLC/人機控制，具備解膠總照度設定、氮氣purge、溫度保護等功能。 - 機台內有光源照度感測器，即時偵測照度。 - 解膠設定的總照度，以感測器即時偵測照度加總。 - 操作方式：抽屜式手動放置料件，按下START鍵後自動執行解膠作業。 |
- 晶圓尺寸：6、8、12吋共用
- 適用材質：晶圓/玻璃/PC板
- 燈管壽命：約1000HR
- 燈管功率：36W
- 光源照度：15~18mw/cm2
- 照射距離：約20mm
- 照射波長：365nm
- 照射時間設定：1-120Sec(可由照度補償)
