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桌上型UV解膠機






機種: 桌上型UV解膠機
描述:

本機為低壓手動晶圓UV解膠機,可應用於12吋以下晶圓之脫膠製程。

特點:

- UV解膠設備裝置為PLC/人機控制,具備解膠總照度設定、氮氣purge、溫度保護等功能。

- 機台內有光源照度感測器,即時偵測照度。

- 解膠設定的總照度,以感測器即時偵測照度加總。

- 操作方式:抽屜式手動放置料件,按下START鍵後自動執行解膠作業。

  • 晶圓尺寸:6、8、12吋共用
  • 適用材質:晶圓/玻璃/PC板
  • 燈管壽命:約1000HR
  • 燈管功率:36W
  • 光源照度:15~18mw/cm2
  • 照射距離:約20mm
  • 照射波長:365nm
  • 照射時間設定:1-120Sec(可由照度補償)

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桌上型UV解膠機