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FM系列 手動貼膜機






機種: FM系列 手動貼膜機
描述:

CEPHEUS手動晶圓貼片機具人性化設計,容易操作且穩定地完成晶圓及膠膜的貼合工作。FM系列貼片機具有堅實的結構,靈活的設計,擁有多用途的貼合平台,標準配備或選用配件,可處理各種標準規格之晶圓晶片,或特殊規格之光學玻璃、膠膜框架等,以達成切割作業中,必須謹慎控制的膠膜張力與無氣泡貼片。

用於6吋、8吋、12吋之晶圓貼膜用.(6,8吋共用,12吋單獨使用,或客製化盤面)

特點:

A. 本機為手動方式把晶圓置於工作盤上面,藉真空吸盤吸住晶圓。

B. 後方膠膜捲以手拉出並固定於台板前緣,離型膜則固定於膠膜捲下方的離型膜回收桿上。

C. 利用手動推動滾輪架,返回時利用氣壓壓力使滾輪把膠膜與晶圓緊密貼合,並利用蓋板上之切刀沿晶圓外周把多餘膠膜切除。

D. 滾輪移動利用線性滑軌,不會產生粉屑。

E. 滾輪下壓壓力以氣壓控制,可調節滾輪貼合壓力。

D. 上蓋轉盤採多點接觸,不易磨耗且操作容易。

 

型號/Model FM-612 FM-608 FM-606
Wafer/frame size 12"&8"共用 8"&6"共用 6"
Power 450W 500w 500w
外型尺寸/Dimension 59x88x39(cm) 90x40x25(cm) 85x36x25(cm)
重量/Weights 53kg kg 40kg
電源/Electrical Utility AC 110V/220V 50/60 HZ 220v AC 50/60 HZ 220v AC 50/60 HZ
氣壓源/Gas CDA Max. 5 bar CDA Max. 5 bar CDA Max. 5 bar

◎由於設備不斷改進,本公司對於外型更改,恕不另行通知。


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FM系列 手動貼膜機