FM系列 手動貼膜機

CEPHEUS手動晶圓貼片機具人性化設計，容易操作且穩定地完成晶圓及膠膜的貼合工作。FM系列貼片機具有堅實的結構，靈活的設計，擁有多用途的貼合平台，標準配備或選用配件，可處理各種標準規格之晶圓晶片，或特殊規格之光學玻璃、膠膜框架等，以達成切割作業中，必須謹慎控制的膠膜張力與無氣泡貼片。

用於6吋、8吋、12吋之晶圓貼膜用.(6,8吋共用,12吋單獨使用，或客製化盤面)

A. 本機為手動方式把晶圓置於工作盤上面，藉真空吸盤吸住晶圓。

B. 後方膠膜捲以手拉出並固定於台板前緣，離型膜則固定於膠膜捲下方的離型膜回收桿上。

C. 利用手動推動滾輪架，返回時利用氣壓壓力使滾輪把膠膜與晶圓緊密貼合，並利用蓋板上之切刀沿晶圓外周把多餘膠膜切除。

D. 滾輪移動利用線性滑軌，不會產生粉屑。

E. 滾輪下壓壓力以氣壓控制，可調節滾輪貼合壓力。

D. 上蓋轉盤採多點接觸，不易磨耗且操作容易。