晶圓清洗機

CL-512自動清洗系統

- 本機適用於8”或12”附鐵框的晶圓切割後的清洗吹乾裝置，亦可應用於玻璃及電子基板的清洗。

- CL-512是一以高效率和多功能設計的清洗機，可以很容易地清除被洗物表面及切割溝槽內的殘留顆粒。

先進的清洗方法

 - CL-512提供了高效率的多循環清洗的過程中，由空氣輔助霧化器設計與氣體的水微滴混合的高壓，它可以輕易的洗去在非常薄的切割溝內殘餘的碎屑顆粒，它提供最佳的清洗，乾燥效果，實現高效率的清洗程序。

PLC程序控制

 - CL-512清洗機是經由邏輯微處理器+人機介面來做控制，所有的配方參數可以經由觸控式人機介面輸入到系統或從記憶體叫出已經編輯好的配方參數輸入到系統來執行，這些參數包括：工作盤旋轉速度，清洗範圍，清洗/乾燥時間，動作元件等等。

本機具有以下特點：

(a)轉速設定：200-2800rpm.

(b)清洗劑及洗淨時間設定：0-999sec.

(c)吹乾時間設定：0-999sec.

(d)可設定加壓或不加壓噴洗。

(e)水壓、氣壓、氮氣壓設定。

(f)可調整噴洗壓力。

(g)可設定10組配方，每組配方皆可獨立設定擺臂清洗範圍。

(h)每組配方有8段清洗行程，每段清洗行程可單獨設定動作元件。

(i)可選配毛刷及清潔劑供應系統。

(j)功能強大的大型全彩人機介面，一目了然，操作容易，立即上手。