手動擴張式貼膜機

適用於貴公司的6"/8”/12”晶圓及固定框與膠膜貼合之裝置。

Ⅰ、本機為手動方式把固定框及晶圓或待貼合工件置於工作盤上面，藉真空吸盤吸住，以定位銷固定FRAME。

Ⅱ、後方膠膜捲以手拉出，固定於前方橫桿上，註意勿讓膠膜垂下。

Ⅲ、拉下上蓋扣緊並利用氣缸上推，使膠膜與FRAME及晶圓緊密貼合，手持滾輪壓合膠膜並利用蓋板上之切刀把多餘膠膜切除。

IV、打開上蓋，取出貼合完成的晶圓及多餘膠膜，即完成循環準備下次貼膠動作。