特點: |
- 適用晶圓:6吋/8寸有鐵框或無鐵框晶圓
- 適用塗佈液:光阻劑/去光阻劑/導電/不導電膠/各式溶劑。
- 主馬達:
- -功率:2000W伺服馬達
- -最大轉速:3000 rpm
- -最大加速度:1000 rpm/sec
- 工作臺:透氣陶瓷chuck table或pig鑽孔真空工作台
- 註膠搖臂控制:可升降式步進馬達位置控制
- 塗佈腔:
- -升降式coating bowl(with Teflon coating)
- -飛濺防護對策:防飛濺cover
- -氣味防止對策:底部抽排氣管*3
- -廢液排放:20mmψ排放管
- -塗佈腔外部防護:使用防靜電透明壓克力
- 靜電去除:離子槍
- 供料系統:
- -SUS壓力桶+內桶
- -供料方式:N2加壓+時間控制(最小單位 0.1 秒)
- -噴嘴:具回吸功能
- -註膠方式:定點或隨機位置註膠
- -光阻劑硬化防止:噴嘴定時purge(時間可設定)
- 廢液儲存方式:5L SUS廢液桶附高液位偵測
- 配方組數及step:可設定30 組配方,每組配方40steps
- 人機介面:10吋彩色人機
- 安全裝置:
- -緊急停止開關
- -塗佈腔室門連鎖
- -漏液偵測
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