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旋轉塗佈機






機種: 旋轉塗佈機
描述:
  1. 半自動旋轉塗佈設備,除手動放入/取出晶片外,其他動作皆為自動完成,可做為光阻劑/去光阻劑或導電/不導電膠及其他塗料及溶劑的旋轉塗佈用,內建30組配方及高達40個步序,可處理大部分的複雜塗佈程序。
  2. 具有非常方便操作的人機介面,設定方式及製程監控簡單明瞭,使用者無需花費太多時間即可輕易上手,各種塗佈方式應用彈性多功能強大。
  3. 使用PLC配合人機界面控制。舉凡:執行步序、工作盤的轉速&加速度、點膠臂位置&速度、製程時間或是溶劑清洗位置等各種不同的操作參數,都很容易輸入系統並記憶,以及從配方記憶組內選定執行。

 

特點:
  1. 適用晶圓:6吋/8寸有鐵框或無鐵框晶圓
  2. 適用塗佈液:光阻劑/去光阻劑/導電/不導電膠/各式溶劑。
  3. 主馬達:
    1. -功率:2000W伺服馬達
    2. -最大轉速:3000 rpm
    3. -最大加速度:1000 rpm/sec
  4. 工作臺:透氣陶瓷chuck table或pig鑽孔真空工作台
  5. 註膠搖臂控制:可升降式步進馬達位置控制
  6. 塗佈腔:
    1. -升降式coating bowl(with Teflon coating)
    2. -飛濺防護對策:防飛濺cover
    3. -氣味防止對策:底部抽排氣管*3
    4. -廢液排放:20mmψ排放管
    5. -塗佈腔外部防護:使用防靜電透明壓克力
  7. 靜電去除:離子槍
  8. 供料系統:
    1. -SUS壓力桶+內桶
    2. -供料方式:N2加壓+時間控制(最小單位 0.1 秒)
    3. -噴嘴:具回吸功能
    4. -註膠方式:定點或隨機位置註膠
    5. -光阻劑硬化防止:噴嘴定時purge(時間可設定)
  9. 廢液儲存方式:5L SUS廢液桶附高液位偵測
  10. 配方組數及step:可設定30 組配方,每組配方40steps
  11. 人機介面:10吋彩色人機
  12. 安全裝置:
    1. -緊急停止開關
    2. -塗佈腔室門連鎖
    3. -漏液偵測

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